特點(diǎn)

1.   質(zhì)量流量計(jì)技術(shù)特點(diǎn)：新一代微機(jī)電（MEMS）技術(shù)，自適應(yīng)信號(hào)處理技術(shù)，數(shù)值仿真技術(shù)設(shè)計(jì)。具有精度高、穩(wěn)定性好、量程比寬、抗干擾、壓損小。
2.   主要功能：流量數(shù)據(jù)采集/處理、記錄/顯示，滿足就地、遠(yuǎn)程監(jiān)測(cè)需求。 安裝方便，維護(hù)簡(jiǎn)單。
3.   適用范圍：氧氣O2 / 氮?dú)釴2 / 氬氣Ar / 天然氣LNG 。通徑DN3-DN20，壓力0-2.5Mpa，溫度 -20-85°C
4.   應(yīng)用場(chǎng)合：醫(yī)療、制藥、半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝過(guò)程如擴(kuò)散、氧化、分子束外延、CVD、等離子刻蝕、濺射、離子注入、以及真空鍍膜、光纖熔煉等；實(shí)驗(yàn)室微反應(yīng)裝置, 混氣配氣系統(tǒng), 毛細(xì)管測(cè)量氣相色譜儀, 光纖制造工藝；石油化工、冶金、焊接等過(guò)程控制。

MEMS0600系列微機(jī)電質(zhì)量流量計(jì) (MEMS Mass Flow Meter) 由傳感器、本體、信號(hào)處理模塊組成。

傳感器是用CMOS半導(dǎo)體工藝制成微機(jī)電系統(tǒng) (MEMS)。傳感器根據(jù)熱擴(kuò)散原理設(shè)計(jì), 芯片中央設(shè)加熱器, 加熱器的上下游分別配置熱電堆, 熱電堆附設(shè)基座測(cè)溫體。加熱器和熱電堆的底部設(shè)有空腔, 可高效檢測(cè)加熱器的熱量以及附近溫度場(chǎng)的變化。加熱元件導(dǎo)入恒定電流后, 其附近區(qū)域形成溫度場(chǎng)。介質(zhì)無(wú)流動(dòng)時(shí)，上下游熱電堆的溫差為零，介質(zhì)流動(dòng)時(shí)，上下游溫差發(fā)生變化，且溫差數(shù)值與質(zhì)量流量大小呈正相關(guān)關(guān)系，通過(guò)測(cè)量溫差可反算出流體質(zhì)量流量。傳感器采用熱擴(kuò)散原理直接測(cè)量質(zhì)量流量, 所以基本無(wú)需進(jìn)行壓力、溫度補(bǔ)償，而且熱擴(kuò)散原理應(yīng)用縮小至毫米微米尺度, 因此該傳感器具有精度高、量程寬、靈敏度高的特點(diǎn)。

流量計(jì)本體由主流道、測(cè)量流道、導(dǎo)向結(jié)構(gòu)、過(guò)濾結(jié)構(gòu)組成。經(jīng)過(guò)理論計(jì)算、大量的數(shù)值仿真、實(shí)驗(yàn)室實(shí)驗(yàn)和現(xiàn)場(chǎng)實(shí)氣測(cè)試驗(yàn)證完成設(shè)計(jì)。流道設(shè)計(jì)滿足經(jīng)濟(jì)、高效、穩(wěn)定、準(zhǔn)確的測(cè)量目標(biāo)。流道壓損小、氣流穩(wěn)定、線性范圍寬。

信號(hào)處理模塊采用性能優(yōu)良、可靠性高的DSP進(jìn)行設(shè)計(jì)。集成數(shù)字化自適應(yīng)信號(hào)處理技術(shù), 可有效抑制隨機(jī)誤差。模塊具有響應(yīng)快、精度高、穩(wěn)定性好的特點(diǎn)。提供便利的計(jì)量就地顯示，根據(jù)需要可提供RS485，4-20mA，NBIOT等數(shù)字和模擬信號(hào)輸出與數(shù)據(jù)遠(yuǎn)傳。